ПАЩЕНКО, Г.А.; КРАВЕЦЬКИЙ, М.Ю.; ФОМІН, О.В. Особливості полірування пластин GaAs хіміко-динамічним та безконтактним хіміко-механічним методами. Фізика і хімія твердого тіла, [S. l.], v. 16, n. 3, p. 560–564, 2015. DOI: 10.15330/pcss.16.3.560-564. Disponível em: https://personnel.pnu.edu.ua/index.php/pcss/article/view/1653. Acesso em: 28 вер. 2024.