Singularities of Polishing Substrates GaAs by Chemo-Dynamical and Non-Contact Chemo-Mechanical Methods

Г.А. Пащенко; М.Ю. Кравецький; О.В. Фомін

doi:10.15330/pcss.16.3.560-564

Автор(и)

Г.А. Пащенко Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є.Лашкарьова НАН України
М.Ю. Кравецький Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є.Лашкарьова НАН України
О.В. Фомін Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є.Лашкарьова НАН України

DOI:

https://doi.org/10.15330/pcss.16.3.560-564

Ключові слова:

підкладка, хіміко-динамічне полірування, хіміко-механічне полірування

Анотація

Проведене порівняльне дослідження двох методів хімічного полірування підкладок GaAs при застосовуванні однакового травника Br₂ + HBr; порівнювались швидкості травлення й морфології поверхні. Виявлено, що при хіміко-динамічному поліруванні зразків GaAs(111)В утворюються численні ямки травлення, які, однак, на поверхні, обробленої методом безконтактного хіміко-механічного полірування не виявляються. Крім того, останній метод, в порівнянні з методом хіміко-динамічного полірування, дозволяє значно підвищити швидкість травлення: тобто, залежно від методу полірування той самий травник поводиться, як селективний або як поліруючий. На основі розробленої моделі травлення поверхні підкладки поблизу виходу дислокації проведене моделювання процесу утворення дислокаційної ямки травлення при поліруванні підкладок обома вищевказаними методами. Результати моделювання узгоджуються із припущенням про два конкуруючих механізмів травлення GaAs у в травнику Br₂ + HBr.

Посилання

Ju.M. Litvinov, F.R. Ashimov, Jelektronnaja tehnika, Ser. materialy 4(189), 51 (1984).

V.A. Perevozchikov, V.D. Skupov, Osobennosti abrazivnoj i himicheskoj obrabotki poverhnosti poluprovodnikov (Izd-vo NNGU, Nizhnij Novgorod, 982).

B.D. Luft, V.A. Perevoshhikov, L.N. Vozmilova, I.A. Sverdlin, K.G. Marin, Fiziko-himicheskie metody obrabotki poverhnosti poluprovodnikov (Radio i svjaz', Moskva, 1982).

Travlenie poluprovodnikov. Sb.statej (Mir, Moskva, 1965).

M.V. Sullivan, G.A. Kolb, J. Of Electrochem.Soc. 110(6), 585 (1963).

N.N. Grigor'ev, M.Ju. Kraveckij, G.A. Pashhenko, S.A. Sypko, A.V. Fomin, Fiz.i him.obrabotki materialov 6, 49 (2002).

N.N. Grigor'ev, M.Ju. Kraveckij, G.A. Pashhenko, S.A. Sypko, A.V. Fomin, TKJeA 2, 36 (2003).

K. Sangval, Travlenie kristallov- teorija, jeksperiment, primenenie (Mir, Moskva, 1990).

V.G. Levich, Fiziko-himicheskaja gidrodinamika (Fizmatgiz, Moskva, 1959).