Особливості кристалічної структури епітаксійних LaGa -заміщених плівок залізо-ітрієвого ґранату. Визначення ступеня дефектності
DOI:
https://doi.org/10.15330/pcss.16.1.68-73Ключові слова:
залізо-ітрієвий гранат, епітаксіальні ферит-гранатові плівки, рідкофазна епітаксія, тензор деформації, дислокації невідповідностіАнотація
Результати досліджень проведених у даній роботі формують цілісну картину деформацій набутих плівкою в процесі росту та післяростової обробки За допомогою комплексного термодинамічного та кристалохімічного аналізу проведено оцінку наявності технологічних домішок в структурах LaGa:ЗІҐ/ҐҐҐ, і вивчено їхній вплив на структурну досконалість плівок, а також приведено результати відновлення із даних рентгенодифрактометричної тензометрії повного тензора деформацій та недіагональних елементів тензора дисторсії, які виникають в епітаксійній гетероструктурі в процесі вирощування та при подальшій технологічній обробці. Встановлено наявність значної анізотропії планарних механічних характеристик епітаксійних плівок, які виникають після їх порізки.
Посилання
C.I. Jushhuk, P.S. Kostjuk, I.E. Lopatinskij, ZhTF 68(9), 46 (1998).
C.I. Jushhuk, P.S. Kostjuk, Pis'ma v ZhTF 27(3), 49 (2001).
J. Kohout, H. Stepankova, J. Englich, P. Novak, M. Kucera, K. Nitsch, H. Gronckel, Journal of Magn. and Magn. Mater. 196/197, 415 (1999).
V.V. Mokljak, H Mіzhnarodna kon¬fe¬ren¬cіja fіziki і tehnologії tonkih plіvok (Іvano-Frankіvs'k, 2005), s. 203.
B. Strocka, P. Holst, W. Tolksdorf, Philips J. Res. 33(3/4), 166 (1978).
Yu.P. Khapachev, A.A. Dyshekov, D.S. Kiselev, Phys. Stat. Sol. 126b(37), 37 (1984).
Ju.P. Hapachev, F.N. Chuhovskij, Kristallografija 34(3), 776 (1989).
Ju.B. Bolhovitjanov, O.P. Pcheljakov, S.I. Chikichev UFN, 171(7), 689 (2001).
A.M. Prohorov, G.A. Smolenskij, A.I. Ageev, UFN 143(1), 33 (1984).
O.G. Rutkin, A.N. Ageev, E.L. Duhovskaja, Ju.G.Saksonov, E.S.Sher, ZhTF 52(12), 2411(1982).
S.B. Ubіzs'kij, G.V. Savic'kij, V.І. Bondar, І.M. Sivorotka, Nerujnіvnij kontrol' konstrukcіjnih ta funkcіonal'nih materіalіv. Zbіrnik naukovih prac' 229 (2002).
G.F. Dione, J. Appl. Phys. 41(12), 4874 (1970).
G.F. Dione, J. Appl. Phys. 42, 2142 (1971).
G.F. Dione, J. Appl. Phys. 47(9), 4220 (1976).
P. Roschmann, P. Hansen, J. Appl. Phys. 52(10), 6257 (1981).
Ju.I. Sirotin, M.P. Shaskol'skaja, Osnovy kristallofiziki (Nauka, Moskva, 1979).
Ju.A. Burenkov, S.P. Nikanorov, FTT 44(2), 307 (2002).