Лазерне формування періодичних мікро- наноструктур на поверхні монокристалічного кремнію
DOI:
https://doi.org/10.15330/pcss.21.2.215-218Ключові слова:
лазер-індуковані періодичні поверхневі структури, наноструктурування, електронно-діркова плазма, рекристалізована областьАнотація
В роботі проведено експериментальні дослідження особливостей утворення лазер-індукованих періодичних наноструктур на поверхні кремнієвих пластин в зонах дії секундних, мілісекундних і наносекундних лазерних імпульсів. Наведені результати мікроскопічних досліджень оптичним і електронним мікроскопом періодичних структур, які формуються на поверхнях з кристалографічною орієнтацією (111), (100). Одержані результати можуть бути використані для оптимізації режиму імпульсного лазерного впливу з метою контрольованого наноструктурування поверхні напівпровідників для цілей мікроелектроніки та фотовольтаїки.
Посилання
B. Kovalyuk, V. Mocharskyi, Yu. Nikiforov, V. Onisimchuk, D. Popovych, A. Serednytski, V. Zhyrovetsky, Physica Status Solidi 10(10), 1288 (2013) (https://doi.org/10.1002/pssc.201200889).
J. Bonse, K.-W. Brzezinka, A. J. Meixner. Appl. Surf. Sci. 221, 215 (2004) (https://doi.org/10.1016/S0169-4332(03)00881-X).
D. Bogdan, V. Meleshko, I. Mohylyak, Z. Swiatek, L. Litynska-Dobrzynska, P. Zieba, Solid State Phenomena 129, 137 (2007) (https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/SSP.129.137).
Y. Bobitski, B. K. Kotlyarchuk, D. I. Popovych, V. K. Savchuk, Proc. SPIE. 4425, 342 (2001) (https://doi.org/10.1117/12.429748).
I. Ursu, I. Mihailescu, A. Popa, A. Prohorov, V. Ageev, A. Gorbunov, V. Konov, J. Appl. Phys. 58, 3909 (1985) (https://doi.org/10.1063/1.335611).
O. Yu. Bonchyk, S. G. Kiyak, I. A. Mohylyak, D. I. Popovych, Phys. Chem. Solid St. 18(3), 309 (2017) (https://doi.org/10.15330/pcss.18.3.309-312)
J. M. Poate, J. W. Mayer, Laser annealing of semiconductors (Academic Press, New York, 1982).
R. M. Peleshchak, O. V. Kuzyk, O. O. Dankiv, Jornal of Nano- and Electronic Physics 11(3), 03018 (2019) (https://doi.org/10.21272/jnep.11(3).03018).
##submission.downloads##
Опубліковано
Як цитувати
Номер
Розділ
