Дослідження умов газорозрядного синтезу наноструктур оксиду цинку при автоматичному УФ - опроміненні підкладки плазмою
DOI:
https://doi.org/10.15330/pcss.22.4.717-723Ключові слова:
перенапружений наносекундний розряд, кисень, цинк, спектр випромінювання, плазмаАнотація
Приведено спектроскопічні характеристики біполярного, перенапруженого розряду наносекундної тривалості між електродами з цинку в кисні при тиску р(О2) = 13.3 кПа. В процесі мікровибухів неоднорідностей на робочих поверхнях електродів в сильному електричному полі в розрядний проміжок вносяться пари цинку. Це створює передумови для утворення молекул і кластерів оксиду цинку в плазмі та синтезу тонких острівкових плівок оксиду цинку, які можуть осаджувались на діелектричній підкладці, встановленій поблизу від центру розрядного проміжку. Спектральні характеристики розряду досліджувались з центральної частини розрядного проміжку величиною 2 мм. Встановлено основні збуджені складові плазми парогазової суміші на основі цинку і кисню при високих значеннях параметра Е/N (де E – напруженість електричного поля; N-сумарна концентрація часток в плазмі), які при осадженні за межами розрядної плазми можуть приводити до утворення тонких наноструктурованих плівок на основі оксиду цинку.
Посилання
D.Z. Pai, D.L. Lacoste, C.O. Laux, Plasma Souces Sci. Technol. 19, 065015 (2010) https://doi.org/10.1088/0963-0252/19/6/065015.
[O.K. Shuaibov, A.A. Malinina, A.N. Malinin, New gas-discharge methods for obtaining selective ultraviolet and visible radiation and synthesis of nanostructures of transition metal oxides. Monograph (Publishing house UzhNU "Hoverla" Uzhhorod 2019).
V.F. Tarasenko, Runaway electrons preionized diffuse discharge (Nova Science Publishers Inc., New York, 2014).
H.A. Mesiats, M.Y. Yalandyn, Advances in Physical Sciences 189(7), 747 (2019). https://doi.org/10.3367/UFNr.2018.06.038354.
E.Kh. Bakst, V.F. Tarasenko, Yu. V. Shut’ko, M.V. Erofeev, Quantum Electronics 42(2), 153 (2012) https://doi.org/10.1070/QE2012v042n02ABEH014795.
A.K. Shuaibov, A.Y. Minya, Z.T. Gomoki, A.A. Malinina, A.N. Malinin, Surface Engineering and Applied Electrochemistry 56(4), 510 (2020) https://doi.org/10.3103/S106837552004016X.
G.A. Mesyats, Usp. Fizich. Nauk. 165(6) 601 (1995) https://doi.org/10.1070/PU1995v038n06ABEH0000.
[ T.E. Itina, A. Voloshko, Appl. Phys. B. 113, 473 (2013) https://doi.org/10. 1007/s00340-o13-5490-6.
A. Shuaibov, A. Minya, A. Malinina, A. Malinin, R. Golomd, I. Shevera, Z. Gomoki, V. Danilo, Advances in Natural Sciences: Nanoscience and Nanotechnology 9, 035018 (2018) https://doi.org/10.1088/2043-6254.
A.K. Shuaibov, A.Y. Minya, A.A. Malinina, A.N. Malinin, V. V. Danilo, M.Yu. Sichka, I.V. Shevera, Amerikan Journal of Mechanical and Materials Engineering 2(1), 8 (2018) https://doi.org/10.11648.j.ajmme.20180201.12.
A.Kh. Abduev, A.Sh. Asvarov, A.K. Akhmetov, R.M. Эmyrov, V.V. Beliaev, Technical Physics Letters 43(22), 40 (2017) https://doi.org/10.21883/PJTF.2017.22.45259.16874.
V.V. Danilo, O. Y. Minya, O.K. Shuaibov, I.V. Shevera, Z.T. Gomoki, M.V. Dudich, Scientific herald of Uzhhorod University. Physics 42, 128 (2017) http://nbuv.gov.ua/UJRN/Nvuufiz_2017_42_17.
[OK. Shuaibov, A.I. Minya, M.P. Chuchman, A.A. Malinin, V.V. Daniil, Z.T. Gomoku, Ukrainian Journal of Physics 63 (9), 790 (2018) https://doi.org/10.15407/ujpe63.9.790.
A.K. Shuaibov, A.Y. Minya, Z.T. Gomoki, A.A. Malinina, A.N. Malinin, V.V. Danilo, Yu.Yu. Bilak, Ya.Ch. Kolozhvari HSOA Jounal of Biotech Research & Biochemistry 3(1), 100005 (2020) https://doi.org/10.24966/BRB-0019/100005.
G. Palani, K. Kannan, D. Radhika, P. Vijayakumar, K. Pakiyaraj, Physics and Chemistry of Solid State 21(4), 571 (2020) https://doi.org/10.15330/pcss.21.4.571-583.
O.K. Shuaibov, O. I. Nalima, R.V. Hrytsak, A.A. Malinina, I.V. Shevera, M.I. Vatrala, Z.T. Gomoki, Physics and Chemistry of Solids 21 (4), 669 (2020) https://doi.org/10.15330/pcss.21.4.669-679.
A.R. Striganov, N.S. Sventitsky, Tables of Spectral Lines of Neutral and Ionized Atoms (Atomizdat, Moscow, 1966).
NIST Atomic Spectra Database Lines Form https:// physics.nist.gov/ PhysRefData/ASD/lines_form.html.
S.I. Maksimov, A.V. Kretinina, N.S. Fomina, L.N. Gall, Scientific Instrumentation 25 (1), 36 (2015).
Yu. M. Smirnov, Optics and Spectroscopy 104(2), 159 (2008) https://doi.org/10.1134/S0030400X08020021.
R. Shyker, Y. Binur, A. Szokem Phys. Rev.A. 12(2), 512 (1975) https://doi.org/10.1103/PhysRevA.12.515.
A.N. Gomonai, Journal of Applied Spectroscopy 82(1), 17 (2015) https://doi.org/10.1007/s10812-015-0057-4.
D. Levko, L.L. Raja, Physics of Plasmas 22, 123518 (2016) https://doi.org/10.1063/1.4939022.
##submission.downloads##
Опубліковано
Як цитувати
Номер
Розділ
