Властивості багатокомпонентної (Mn-Ni-Co-Al-Si-Ti) оксид-шпінельної ієрархічно організованої наноструктури, осадженої магнетронним розпиленням при двох температурах
DOI:
https://doi.org/10.15330/pcss.22.3.494-500Ключові слова:
магнетронне розпилення, плівки, ієрархічні структури, оксиди шпінеліАнотація
Багатокомпонентні шпінельніплівки наносили на підкладки Ag/Si методом магнетронного розпилення. Задавали дві температури підкладки. XRD-вимірювання показують, що шари складаються з трьох оксидів металів (Mn2O3, NiO, CoO). Наявність шпінельної фази погано візуалізована. Однак, вимірювання дифракції електронів (RHEED) чітко підтвердили наявність наноструктурованої структури шпінелі поверх зразків. Більш того, АСМ вимірювання вказують, що на поверхні зразка присутні наноструктуровані острівці шпінелі. Дослідження підтвердилиотримання ієрархічно організованихнаноструктур оксидів шпінелі. Обговорено можливий модельний ріст наноструктур шпінелі при різних температурах.
Посилання
K. Ariga, Q. Ji, W. Nakanishi, J.P. Hill, M. Aono, Materials Horizons 2, 406(2015); https://doi.org/10.1039/C5MH00012B.
I. Ashraf, S. Rizwan, M. Iqbal, Front. Mater.7, 181 (2020) ; https://doi.org/10.3389/fmats.2020.00181.
Z. Ren, Y. Guo, C-H. Liu, P-X. Gao, Front. Chem.1, 18 (2013); https://doi.org/10.3389/fchem.2013.00018.
M. Alvarez,A. Calle, J. Tamayo, L.M. Lechuga, A. Abad, and A. Montoya, Biosens. Bioelectron 18, 649 (2003); https://doi.org/10.1016/s0956-5663(03)00035-6.
J. Xu, Z. Pan, S. Peng, Y. Zhao, S. Jiang, Y. Chen, Z-H. Xie, P. Munroe, iScience 24, 101942 (2021); https://doi.org/10.1016/j.isci.2020.101942.
J. Patila, D. Nadargia, I. S.Mullab, S.S. Suryavanshia, Materials Letters 213(15), 27 (2018); https://doi.org/10.1016/j.matlet.2017.11.009.
P. Ma, X. Li, Y, Zhang, Le Han, Yan Xu, Materials Science in Semiconductor Processing 133,105993 (2021); https://doi.org/10.1016/j.mssp.2021.105993.
S. Zhang, W. Jiang, Y. Li, X. Yang, P. Sun, F. Liu, Xu Yan, Y. Gao, X. Liang, J. Ma, G. Lu, Sensors and Actuators B: Chemical 291, 266 (2019); https://doi.org/10.1016/j.snb.2019.04.090.
Qinghong Xu, Yuxue Zhao, Yabo Wei, Wensheng Yang, Feng Li, Mingguang Gu,Solid State Sciences 10(3), 337 (2008); https://doi.org/10.1016/j.solidstatesciences.2007.09.024.
A. Hossain, M.S.I. Sarker, M.K.R. Khan, M.M. Rahman, Materials Science and Engineering: B 253, 114496 (2020); https://doi.org/10.1016/j.mseb.2020.114496.
A. Mahmood, S. M. Ramay, W. Al-Masry, C. W. Dunnil, N. Y. A. Al-Garadi, Journal of Materials Research and Technology 9, 16159 (2020); https://doi.org/10.1016/j.jmrt.2020.11.063.
J.W. Colby, Advances In X-ray Analysis 11, 918 (1968).
L.J. Pouchou, F.Pichoir, Scanning, 12, 212(1990).
G.F. Bastin, J.M. Dijkstra, H.J.M.Heijligers, D.Klepper, Microchimica Acta, 12, 93 (1992); https://doi.org/10.1017/S1431927609991218.
R. Li, Q. Fu, X. Zou, Z. Zheng, W. Luo, L. Yan, Journal of Advanced Ceramics 9(1), 64 (2020); https://doi.org/10.1007/s40145-021-0477-y.
W. Zhou, L. Zhang, Ch. Ouyang, J. Wu, Z. Huang, X-f, Xu, Applied Surface Science 311443 (2014).
M. Kumar, Mater. Res. Express 6,096404 (2019); https://orcid.org/0000-0003-0062-2590.
N. Ghobadi, M. Ganji, C. Luna, A. Arman, A. Ahmadpourian, J Mater Sci: Mater Electron 27, 280019(2016).
D.K. Pradhan, S. Kumari, D.K. Pradhan, A. Kumar, R.S. Katiyar, R.E. Cohen, Journal of Alloys and Compounds766, 1074 (2018); https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2018.06.348.
P. Rajagiri, B.N. Sahu,N. Venkataramani, S. Prasad, R. Krishnan, Advances 8, 056112 (2018); https://doi.org/10.1063/1.5007792.
I.O Rudyj, I.V Kurilo, M.S Frugynskyi, M Kuźma, J Zawiślak, I.S Virt, Applied Surface Science 154–155, 206 (2000).
H.Le.Trong, T.M.A. Bui, L. Presmanes, A. Barnabé, I. Pasquet, C. Bonningue, Ph. Tailhades, Thin Solid Films 589, 292 (2015); https://doi.org/10.1016/j.tsf.2015.05.041.
B. Mauvernay, and Presmanes, Lionel and Bonningue, Corine and Tailhades, Philippe, Journal of Magnetism and Magnetic Materials 320 (1), 58 (2008); http://dx.doi.org/10.1016/j.jmmm.2007.05.042.
L.V. Gambino, N.J. Magdefrau, M. Aidnow, Surface and Coatings Technology 286, 206 (2016).
N.F.A. Neto, D.M.G. Leite, P.M. Lisboa-ilho, J.H.D. da Silva, J. Vac, Technol A 36(6), 6152, (2018).
G. De Györgyfalva,&I. Reaney, Journal of Materials Research18(6), 1301(2003); https://doi.org/10.1557/JMR.2003.0179.
A. Gaur, V.M. Sglavo, Journal of European Ceramic Society 34, 2391(2014).
L.R. Shaginyan, J.G. Han, V.R. Shaginyan, J. Musil, J. Vac. Sci. Technol. A 24(4), 1083 (2006); https://doi.org/10.1116/1.2210947.
L.R. Shaginyan, V.R. Shaginyan, J.G. Han, Eur. Phys. J. B 46, 335 (2005); https://doi.org/10.1140/epjb/e2005-00258-4.
S. Fritze, C. M. Koller, Linus von Fieandt, P. Malinovskis, K. Johansson, E. Lewin, P. H. Mayrhofer, U. Jansson, Materials (Basel), 12(4), 587(2019).