Дослідження кутового спектру розсіяних іонів інертного газу з поверхні InGaP (001)
DOI:
https://doi.org/10.15330/pcss.22.4.742-745Ключові слова:
розсіювання іонів, напівканали, комп’ютерне моделювання, кутовий розподіл, іонне фокусуванняАнотація
У роботі методом комп’ютерного моделювання проведено дослідження розсіювання низькоенергетичних іонів на очищеному багатокомпонентному монокристалі InGaP (001) <110> в умовах бомбардування іонами, здійснено аналіз та отримано нові дані. Розроблено та створено ефективні оригінальні алгоритми та комп'ютерні коди вищезгаданих процесів іонного впливу. Встановлено зв’язок між просторовими змінними розсіяного пучка (переважно азимутальними кутовими спектрами) і типом іонів. Показано кореляцію між фокусуючими властивостями поверхневого напівканалу з типом бомбардуючих іонів при різному куті падіння. Показано, що зміни типу атомів напівканалу призводять до зміни фокусувальних властивостей поверхневих напівканалів.
Посилання
S.S. Lu, C.C. Huаng, IEEE Electron Device Lett. 13, 214 (1992); https://doi.org/10.1109/55.145025.
Y. Wang, K.H. Lee, W.Kh. Loke, S.B. Chiah, X. Zhou, S.Y. Yoon, Ch.S. Tan, E. Fitzgerald, AIP Adv. 8, 115132 (2018); https://doi.org/10.1063/1.5058717.
T. Oka, K. Hirata, H. Suzuki, K. Ouchi, H. Uchiyama, T. Taniguchi, K. Mochizuki, T. Nakamura, IEEE Trans. Electron Dev. 48(11) 2625 (2001); https://doi.org/10.1109/16.960388.
U.B. Sharopov, K. Kaur, M.K. Kurbanov, D.Sh. Saidov, E.T. Juraev, M.M. Sharipov, Silicon (2021); https://doi.org/10.1007/s12633-021-01268-0.
U.B.Sharopov, K.Kaur, M.K.Kurbanov, D.Sh.Saidov, Sh.R.Nurmatov, M.M.Sharipov, B.E.Egamberdiev. Thin Solid Films 735, 138902 (2021); https://doi.org/10.1016/j.tsf.2021.138902.
M.K. Karimov, U.O. Kutliev, Sh.K. Ismailov, M.U. Otaboev, e-Journal of Surface Science and Nanotechnology 18, 164 (2020); https://doi.org/10.1380/ejssnt.2020.164.
U.B. Sharopov, B.G. Atabaev, R. Djabbarganov, Journal of Surface Investigation, X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques 14(1) 101 (2020); https://doi.org/10.1134/S1027451020010164.
U.B. Sharopov, B.G. Atabaev, R. Djabbarganov, M.K. Kurbanov, M.M. Sharipov, J. Surf. Invest. 10 No 1, 245 (2016); https://doi.org/10.1134/S1027451016010328.
E.S. Mashkova, V. Molchanov, Medium-Energy Ion Reflection from Solids (Amsterdam: North-Holland: 1985).
E.S. Parilis, N.Yu. Turaev, F.F. Umarov 1975 Radiat. Eff. 24, 207 (1985).
J.F. Ziegler, J.P. Biersack, U. Littmark, The Stopping and Range of Ions in Solids (NY: Pergamon Press: 1985).
E.S. Parilis, L.M. Kishinevsky, N.Yu. Turaev, B.E. Baklitzky, F.F. Umarov, V.Kh. Verleger, S.L. Nizhnaya, I.S. Bitensky, Atomic Collisions on Solid Surfaces (North-Holland: Amsterdam: 1993).
M.K. Karimov, U.O. Kutliev, K.U. Otaboeva, M.U. Otaboev, J. Nano- Electron. Phys. 12(5), 05032 (2020); https://doi.org/10.21272/jnep.12(5).05032.
U.Kutliev, M.Karimov, B.Sadullaeva, M.Otaboev. COMPUSOFT, An international journal of advanced computer technology 7, 2749 (2018).
U.O. Кutliev, M.К. Кarimov, M.U. Otaboev, Inorganic Materials: Applied Research 11, 503 (2020); https://doi.org/10.1134/S2075113320030272.
##submission.downloads##
Опубліковано
Як цитувати
Номер
Розділ
