Дослідження впливу режимів електронно-променевої безтигельної зонної плавки металургійного кремнію на рафінування та структуроутворення зливків
DOI:
https://doi.org/10.15330/pcss.18.2.228-235Ключові слова:
полікристалічний кремній, питомий електроопір, фотоелектричні перетворювачі, електронно-променева безтигельна зонна плавка, рафінування, спрямована кристалізація, стовбчата структураАнотація
У роботі представлені результати досліджень, які отримані при розробці технології електронно-променевої безтигельної зонної плавки металургійного кремнію. Показано, що рафінування кремнію від фонових і легуючих домішок при електронно-променевій безтигельній зонній плавці відбувається шляхом зонного очищення при плавці і в результаті випаровування домішок з поверхні зразка. Створено математичну модель і проведено обчислювальний експеримент, за допомогою якого визначено температурний градієнт при різних швидкостях зонного плавлення. Встановлено межі температурних градієнтів, при яких в процесі плавки формується стовпчаста структура кристалітів, що забезпечує разом з очищенням зразків в результаті зонної перекристалізації підвищення рівня питомого електроопору зливків.
Посилання
[2] A.I. Nepomnyaschih, B.A. Krasin, V.S. Romanov i dr. Pat. RF № 2131843 Byul. M17 ot 20.06.99.
[3] S.A. Garyainov, Yu.S. Tihodeev, Fizicheskie modeli poluprovodnikovyih priborov s otritsatelnyim soprotivleniem (Radio i svyaz, Moskva, 1997).
[4] E.A. Asnis, A.B. Lesnoy, N.V. Piskun, Sovremennaya elektrometallurgiya (3), 11 (2011).
[5] N.I. Kazakova, N.V. Nemchinova, B.A. Krasin, Sovremennyie problemyi nauki i obrazovaniya, 6(3), 158, (2007).
[6] B.A. Krasin, A.I. Nepomnyaschih, A.S. Tokarev i dr., Materialyi elektronnoy tehniki (1), 28, (2005).
[7] V.P. Ginkin, S.M. Ganina K.P. Chernov, Matematicheskoe modelirovanie fizicheskih protsessov (4), 58 (2013).
[8] S.S. Belskiy, N.V. Nemchinova, B.A. Krasin, Sovremennyie naukoemkie tehnologii (4), 26, (2006).