Процеси старіння в плівках залізо-ітрієвого гранату імплантованих іонами бору
DOI:
https://doi.org/10.15330/pcss.20.1.62Ключові слова:
природне старіння, профіль деформації, Х-променева дифракція, іонна імплантація, дефекти структуриАнотація
На основі результатів X-променевого структурного аналізу вивчено зміни кристалічної структури, які відбувалися на протязі 15 років в приповерхневих шарах епітаксійних плівок залізо-ітрієвого гранату, імплантованих іонами B+. Розглянуто процеси, що відбуваються під час іонної імплантації B+ у ферит-гранатові плівки, та процеси, які супроводжують низькотемпературне старіння іонно імплантованих плівок. З експериментальних кривих дифракційного відбивання, отриманих відразу після іонної імплантації та через 15 років, визначено профілі деформації. Виявлено, що значення відносної максимальної деформації приповерхневих шарів зменшується при незмінній товщині порушеного шару.
Посилання
[1] I. Yaremiy, S. Yaremiy, M. Povkh, O. Vlasii, V. Fedoriv, A. Lucas, Eastern-European Journal Of Enterprise Technologies, 6(12 (96)) (2018) (doi: 10.15587/1729-4061.2018.151806).
[2] B. K. Ostafiychuk, V. D. Fedoriv, I. P. Yaremiy et al. Phys. Status Solidi A 208(9) (2011) (doi: 10.1002/pssa.201026749).
[3] S. B. Ubizski, A. O. Matkovskii, N. Mironova-Ulmane, et al. Phys. Status Solidi A 177 (2000).
[4] B.K. Ostafiychuk, V.D. Fedoriv, V.O. Kotsubunskiy, I.P. Yaremiy Physics and Chemistry of Solid State, 4(1) (2003).
[5] B. K. Ostafiychuk, V. D. Fedoriv, S. I. Yaremiy et al., Metallofizika i Noveishie Tekhnologii, 30(9) (2008).
[6] V. M. Pylypiv, O. S. Skakunova, T. P. Vladimirova et al. Metallofizika i Noveishie Tekhnologii, 34(11) (2012).
[7] L. Branyavichyus, Yu. Dudonis. Modifikatsiya svoystv tverdyih tel ionnyimi puchkami (Vilnyus, Mokslas, 1980).
[8] B. K. Ostafiychuk, V. A. Oleynik, V. M. Pyilyipiv et al, Kristallicheskaya i magnitnaya struktura implantirovannyih sloev monokristallicheskih plenok zhelezo-ittrievogo granata (Preprint 1.91. – Kiev: Institut metallofiziki AN Ukrainyi, 1991).
[9] V. V. Nemoshkalenko, B. K. Ostafiychuk, V. A. Oleynik et al, Fizika tverdogo tela, 32(3) (1990).
[10] V. S. Vavilov, A.R. Chelyadinskiy, Physics-Uspekhi, 38(3) (1995).
[11] I. A. Sluchinskaya, Osnovy Materialovedeniya i Tekhnologii Poluprovodnikov (Fundamentals of Materials Science and Semiconductor Technology) (Moscow, Mir, 2002).
[2] B. K. Ostafiychuk, V. D. Fedoriv, I. P. Yaremiy et al. Phys. Status Solidi A 208(9) (2011) (doi: 10.1002/pssa.201026749).
[3] S. B. Ubizski, A. O. Matkovskii, N. Mironova-Ulmane, et al. Phys. Status Solidi A 177 (2000).
[4] B.K. Ostafiychuk, V.D. Fedoriv, V.O. Kotsubunskiy, I.P. Yaremiy Physics and Chemistry of Solid State, 4(1) (2003).
[5] B. K. Ostafiychuk, V. D. Fedoriv, S. I. Yaremiy et al., Metallofizika i Noveishie Tekhnologii, 30(9) (2008).
[6] V. M. Pylypiv, O. S. Skakunova, T. P. Vladimirova et al. Metallofizika i Noveishie Tekhnologii, 34(11) (2012).
[7] L. Branyavichyus, Yu. Dudonis. Modifikatsiya svoystv tverdyih tel ionnyimi puchkami (Vilnyus, Mokslas, 1980).
[8] B. K. Ostafiychuk, V. A. Oleynik, V. M. Pyilyipiv et al, Kristallicheskaya i magnitnaya struktura implantirovannyih sloev monokristallicheskih plenok zhelezo-ittrievogo granata (Preprint 1.91. – Kiev: Institut metallofiziki AN Ukrainyi, 1991).
[9] V. V. Nemoshkalenko, B. K. Ostafiychuk, V. A. Oleynik et al, Fizika tverdogo tela, 32(3) (1990).
[10] V. S. Vavilov, A.R. Chelyadinskiy, Physics-Uspekhi, 38(3) (1995).
[11] I. A. Sluchinskaya, Osnovy Materialovedeniya i Tekhnologii Poluprovodnikov (Fundamentals of Materials Science and Semiconductor Technology) (Moscow, Mir, 2002).
##submission.downloads##
Опубліковано
2019-04-01
Як цитувати
Яремій, І., Повх, М., Коцюбинський, В., Федорів, В., Яремій, С., & Пашковська, Р. (2019). Процеси старіння в плівках залізо-ітрієвого гранату імплантованих іонами бору. Фізика і хімія твердого тіла, 20(1), 56–62. https://doi.org/10.15330/pcss.20.1.62
Номер
Розділ
Огляд
