Хімічна обробка CdTe та твердих розчинів ZnxCd1-xTe і Cd0,2Hg0,8Te водними розчинами HNO3–НІ–лактатна кислота
DOI:
https://doi.org/10.15330/pcss.17.2.247-250Ключові слова:
напівпровідник, тверді розчини, монокристал, травник, поверхня, хімічне травлення, поліруванняАнотація
Методом диску, що обертається, досліджено кінетику процесів розчинення CdTe, ZnxCd1-xTe та Cd0,2Hg0,8Te в йодвиділяючих травильних композиціях HNO3–НІ–лактатна кислота. Визначено залежності швидкості травлення вказаних матеріалів від концентрації окиснювача та органічного розчинника. Оптимізовано склади поліруючих травників і режими хіміко-динамічного полірування поверхні досліджуваних напівпровідникових матеріалів. Встановлено вплив вмісту Zn та Hg у складі твердих розчинів на якість отриманої поверхні у травильних сумішах.
Посилання
[1] Є.O. Bіlevich, V.M. Tomashik, Z.F. Tomashik, S.G. Danilenko, Fіzika і hіmіja tverdogo tіla1(2), 267 (2000).
[2] Z.F. Tomashik, O.R. Gumenjuk, V.N. Tomashik, P.I. Fejchuk, Kondensirovanye sredy i mezhfaznye granicy5(3), 248 (2003).
[3] B.D. Luft, V.A. Perevoshhikov, L.N. Vozmilova, I.A. Sverdlin, K. G. Marin, Fiziko–himicheskie metody obrabotki poverhnosti poluprovidnikov (Radio i svjaz', Moskva, 1982).
[4] Є.O. Bіlevich, V.M. Tomashik, Z.F. Tomashik, S.G. Danilenko, Fіzika і hіmіja tverdogo tіla1(2), 267 (2000).
[5] Z.F. Tomashik, S.G. Danilenko, P. Siffert, V.N. Tomashik, P.I. Fejchuk, E.O. Bilevich, Optojelektronika i poluprov. tehnika 35, 57 (2000).
[6] Z.F. Tomashik, E.O. Bilevich, V.N. Tomashik, Kondensir. sredy i mezhfaz. granicy 3(3), 237 (2001).
[2] Z.F. Tomashik, O.R. Gumenjuk, V.N. Tomashik, P.I. Fejchuk, Kondensirovanye sredy i mezhfaznye granicy5(3), 248 (2003).
[3] B.D. Luft, V.A. Perevoshhikov, L.N. Vozmilova, I.A. Sverdlin, K. G. Marin, Fiziko–himicheskie metody obrabotki poverhnosti poluprovidnikov (Radio i svjaz', Moskva, 1982).
[4] Є.O. Bіlevich, V.M. Tomashik, Z.F. Tomashik, S.G. Danilenko, Fіzika і hіmіja tverdogo tіla1(2), 267 (2000).
[5] Z.F. Tomashik, S.G. Danilenko, P. Siffert, V.N. Tomashik, P.I. Fejchuk, E.O. Bilevich, Optojelektronika i poluprov. tehnika 35, 57 (2000).
[6] Z.F. Tomashik, E.O. Bilevich, V.N. Tomashik, Kondensir. sredy i mezhfaz. granicy 3(3), 237 (2001).
##submission.downloads##
Опубліковано
2016-06-15
Як цитувати
Гвоздієвський, Є., Томашик, З., Томашик, В., & Денисюк, Р. . (2016). Хімічна обробка CdTe та твердих розчинів ZnxCd1-xTe і Cd0,2Hg0,8Te водними розчинами HNO3–НІ–лактатна кислота. Фізика і хімія твердого тіла, 17(2), 247–250. https://doi.org/10.15330/pcss.17.2.247-250
Номер
Розділ
Наукові статті
