Технологія осадження відкритим випаровуванням у вакуумі фотоелектричних плівок CdTe
DOI:
https://doi.org/10.15330/pcss.18.4.416Ключові слова:
телурид кадмію, тонкі плівки, наноструктури, процеси ростуАнотація
Методом осадження із парової фази, а саме шляхом відкритого випаровування у вакуумі отриманотонкі плівки CdTe, використовуючи різні технологічні фактори, зокрема, різну товщину (задається часом осадження t) d = (540 - 2835) нм, температуру осадження Td = 200°C та температуру випарника Te (500 -600)°C. Плівки осаджували на кремнієві підкладки. Морфологія тонкоплівкових конденсатів визначаєтьсяна основі аналізу ASM та SEM досліджень. Були отримані залежності середньої шорсткості тасередньоквадратичного відхилення від матеріалу підкладки та товщини плівки. Встановлено, що рістповерхневих наноструктур визначається механізмом Странкі-Крастанова.
Посилання
V.Y. Lytvynenko, Optical and recommendation losses in CdS-CdTe and CdS/Cu(In,Ga)Se2 thin-film solar cells, PhD Thesis, ChNU, 2015.
X. Wu, High-efficiency polycrystalline CdTe thin-film solar cells. Sol. Energy 77(6), 803 (2004).
J.J. Loferski, J. Appl. Phys., 27, 777 (1956).
P. Rappoport, RCA Review, 20, 373 (1959).
J. Minilya-Arroyo, Y. Marfaing, G. Cohen, and R Triboulet, Sol. Energy Mater. 1, 171 (1979).
G. Cohen-Solal, D. Lincot, and M. Barbe, Proc. of the 4th International Photovoltaic Solar Energy Conference (Reidel, Stresa, Italy, 1982), p. 621.
D.A. Cusano, Solid-State Electronics 6, 217 (1963).
R.D. Vengrenovich, B.V. Іvans'kij, A.V. Moskaljuk. Physics and Chemistry of Solid State 10(1), 19 (2009).
F.G. Courreges, A.L. Fahrenbruch, and R.H. Bube, Appl. Phys., 51, 2175 (1980).
D. Bonnet, Practical Handbook of Photovoltaics: Fundamentals and Applications, edited by T. Markvart and L. Castaner, (Elseiver, New York, 2003), p. 333.
J. Britt and С. Ferekides, Appl. Phys. Lett., 62, 2851 (1993).
P.V. Meyers and S.P. Albright, Prog. Photovolt.: Res. Appl., 8, 161 (2000).
A.P. Shpak, D.M. Freik, Yu.A. Kunytsky, I.I. Chavyak, Nanosystems, nanomaterials, nanotechnology 7(4), 1089 (2009).
D.M. Freik, Ya.S. Yavorskyi, V.Y. Potyak, R.S. Yavorsyi, Physics and Chemistry of Solid State 13(2), 509 (2012).
G. Wisz, I.S. Virt, P. Sagan, P. Potera, R. Yavorskyi, Nanos. Research Lett., 12(1), 253 (2017).
L.S. Palatnik, M.Ja. Fuks, V.M. Kosevich, Mehanizmobrazovanija i substruktura kondensirovanyh plenok (Nauka, Moskva, 1972).
Y.P. Saliy, L.I. Nykyruy, R.S. Yavorskyi, & S. Adamiak, The Surface Morphology of CdTe Thin Films Obtained by Open Evaporation in Vacuum. Journal of nano- and electronic physics 9(5), 05016 (2017).
A.Ja. Shik, L.G. Bakueva, S.F. Musihin, S.A. Rykov, Fizika nizkorazmernyh system. Pod red. A.Ja. Shika (SPb. Nauka, Moskva, 2001).